激光原子力显微镜及其对光学表面粗糙度的研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woai2011ni
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<正> 自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。
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