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Ar＋刻蚀应用于聚合物的深度剖析中时，通常会造成聚合物表面结构的损伤，从而无法得到真实的聚合物结构信息。本实验结合X射线光电子能谱（XPS）分析测试技术，以聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET ）为对象，研究Ar＋刻蚀对其表面结构的损伤，以及Ar＋刻蚀参数对其损伤作用的影响。
XPS表征Ar~+刻蚀对PET表面结构的损伤
【摘 要】
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Ar＋刻蚀应用于聚合物的深度剖析中时，通常会造成聚合物表面结构的损伤，从而无法得到真实的聚合物结构信息。本实验结合X射线光电子能谱（XPS）分析测试技术，以聚对苯二甲酸乙二醇酯（PE
【机 构】
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华东理工大学分析测试中心,华东师范大学化学系
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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2014年6期
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