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本文描述了近期研制成功的一台智能化THSMA-5型反射式声显微镜。该机以通用微机为核心控制整机工作,终端显示图象。该机具有较高的表层深层分析能力,已观察出5.1mm深处20μ宽结构形状。它可检测平面、圆柱形零件。该机还具有多种图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景。
智能化THSAM—5型反射式声学显微镜及其应用
【摘 要】
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本文描述了近期研制成功的一台智能化THSMA-5型反射式声显微镜。该机以通用微机为核心控制整机工作,终端显示图象。该机具有较高的表层深层分析能力,已观察出5.1mm深处20μ宽
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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1993年3期
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