【摘 要】
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研究了利用IBAD方法沉积类金刚石薄膜时,离子的辅助轰击能量对薄膜的微观结构、表面粗糙度、弹性、硬度以及摩擦系数的影响,获得了机械和摩擦性能优异的类金刚石薄膜。讨论了
【机 构】
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研究了利用IBAD方法沉积类金刚石薄膜时,离子的辅助轰击能量对薄膜的微观结构、表面粗糙度、弹性、硬度以及摩擦系数的影响,获得了机械和摩擦性能优异的类金刚石薄膜。讨论了薄膜微观结构和性能之间的关系,分析了不同硬度测试方法的差异。
The effect of ion bombardment energy on the microstructure, surface roughness, elasticity, hardness and friction coefficient of IBD films deposited by IBAD was studied. The diamond-like carbon films with excellent mechanical and tribological properties were obtained. The relationship between the microstructure and properties of the films was discussed, and the differences between different hardness testing methods were analyzed.
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