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报道了一种CZT单晶片退火的新装置和新工艺,可以方便有效的对CZT单晶片进行开管退火。主要研究了氢气氛下加Cd源开管退火对CZT晶片中沉积相的影响。研究发现：经过开管退火处理后CZT晶片中的沉积相颗粒的密度和尺寸都明显减小,有效消除了Te沉积相,大颗粒的Cd沉积相尺寸也明显减小。
开管退火对碲锌镉单晶片沉积相影响的研究
【摘 要】
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报道了一种CZT单晶片退火的新装置和新工艺,可以方便有效的对CZT单晶片进行开管退火。主要研究了氢气氛下加Cd源开管退火对CZT晶片中沉积相的影响。研究发现：经过开管退火处理
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2010年10期
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