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提出了一种内置微流道的LTCC基板结构,制定了LTCC的内置微流道基板制作方案。按照方案进行基板制作,测试其散热效果,对测试结果进行了分析,研究结果对提高LTCC基板的散热能力具有一定的指导意义。
高热导率LTCC基板的散热性能研究
【摘 要】
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提出了一种内置微流道的LTCC基板结构,制定了LTCC的内置微流道基板制作方案。按照方案进行基板制作,测试其散热效果,对测试结果进行了分析,研究结果对提高LTCC基板的散热能力
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2020年2期
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