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本文从五个方面详细讨论了选择扫描电镜最佳成像参数的方法。并通过对两种纯元素对样品的原子序数反差的计算得到两点结论:(1)当两元素的原子序数差减小时,其图像的空间分辨迅速提高。(2)在快速帧速率下视频寻找成像区域时,为了分辨出图像中低于1％的反差水平,束流需达500nA束斑直径达1μm或更大些。
扫描电子显微镜成像方法的研究
【摘 要】
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本文从五个方面详细讨论了选择扫描电镜最佳成像参数的方法。并通过对两种纯元素对样品的原子序数反差的计算得到两点结论:(1)当两元素的原子序数差减小时,其图像的空间分辨迅速提高。(2)在快速帧速率下视频寻找成像区域时,为了分辨出图像中低于1％的反差水平,束流需达500nA束斑直径达1μm或更大些。
【机 构】
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湖北大学实验中心
【出 处】
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湖北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1991年04期
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