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卤素原子在化学气相淀积金刚石薄膜过程中的作用
卤素原子在化学气相淀积金刚石薄膜过程中的作用
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:realg007
【摘 要】
:
根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体低压金刚石生长的非平衡定态相图,计算与大量实验事实符合良好。
【作 者】
:
刘志杰
张卫
【机 构】
:
复旦大学电子工程系CVD研究室
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1998年6期
【关键词】
:
卤素
化学气相淀积
金刚石
薄膜
非平衡热力学
Halogen
Chemical vapor deposition
Diamond
【基金项目】
:
863计划,国家自然科学基金
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根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体低压金刚石生长的非平衡定态相图,计算与大量实验事实符合良好。
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