【摘 要】
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近年来随着微纳加工工艺以及TEM技术的进步,原位液体环境TEM技术发展迅速,目前其空间分辨率已可达到亚纳米尺度。相关研究涉及物理、化学、材料和生物等多个领域,为液体环境
【机 构】
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东南大学FEI纳皮米中心、MEMS教育部重点实验室、电子科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(Nos.51420105003,11327901,61601116);国家杰出青年科学基金项目(No.11525415)
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近年来随着微纳加工工艺以及TEM技术的进步,原位液体环境TEM技术发展迅速,目前其空间分辨率已可达到亚纳米尺度。相关研究涉及物理、化学、材料和生物等多个领域,为液体环境中纳米材料的成核、生长、自组装以及生物样品结构表征等方面的研究提供了很大的帮助。本文首先介绍了原位液体环境TEM技术的主要实现方式以及液体腔制备技术的发展;其次重点综述了近年来原位液体腔TEM技术在纳米晶体成核、生长、刻蚀、自组装以及电场作用下的纳米结构演变中的应用;最后对原位液体环境TEM技术未来的机遇和挑战进行了展望。
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