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Atotech开发成功超薄材料处理设备
Atotech开发成功超薄材料处理设备
来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rongtian2588
【摘 要】
:
Atotech的Chemcut设备集团(在美国)已成功推出超薄材料处理设备—Sigma系列及547×L湿处理设备。 在显影及蚀刻过程中,线条,尤其是细线条的边缘一致性与传送系统的设计有
【作 者】
:
李海
【出 处】
:
印制电路信息
【发表日期】
:
1996年8期
【关键词】
:
超薄材料
处理设备
开发成功
传送轮
传送系统
湿处理
新设计
合格率
细线条
密切关系
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Atotech的Chemcut设备集团(在美国)已成功推出超薄材料处理设备—Sigma系列及547×L湿处理设备。 在显影及蚀刻过程中,线条,尤其是细线条的边缘一致性与传送系统的设计有密切关系。Chemcut的超薄传送系统能保证高合格率及较好的一致性。
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