【摘 要】
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本文通过PV Lighthouse模拟了硅片厚度（从50μm至200μm）对晶硅异质结（SHJ）太阳电池的光学吸收及光生电流密度的影响，剖析了电池柔性化面临的瓶颈问题，并模拟了不同厚度的TCO/MgF2与TCO/SiO2减反射结构，获得了最佳光生电流密度。通过热蒸发制备了MgF2薄膜，射频磁控溅射制备了SiO2薄膜，经过优化构建了具有高透过率（92.56%）的MgF2/SiO2叠层减反射结构，将器
【基金项目】
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国家自然科学基金（61904154）； 四川省重点研发计划（2022YFG0229）； 成都市技术创新研发项目（2022-YF05-00384-SN）；
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本文通过PV Lighthouse模拟了硅片厚度（从50μm至200μm）对晶硅异质结（SHJ）太阳电池的光学吸收及光生电流密度的影响，剖析了电池柔性化面临的瓶颈问题，并模拟了不同厚度的TCO/MgF2与TCO/SiO2减反射结构，获得了最佳光生电流密度。通过热蒸发制备了MgF2薄膜，射频磁控溅射制备了SiO2薄膜，经过优化构建了具有高透过率（92.56%）的MgF2/SiO2叠层减反射结构，将器件入光面反射率从6.70%降低至5.46%。在SHJ电池背面应用MgF2/SiO2叠层减反射结构，正面辅以单层SiO2或MgF2减反射薄膜，背面入光时的外部量子效率（EQE）显著提高了2.35%,使短路电流密度提升1.10 mA/cm~2以上。该叠层减反射方案实现了95.16%的超高双面率，对提升双玻组件的发电量具有重要意义。
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