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阐述对于缓变形PN结，在染结后扫描电镜的拍摄中，难以拍摄或拍摄效果不好等问题，通过对日立S4800扫描电镜在拍摄上进行方法及技巧上的运用，提高了染结样品的电镜拍摄图像效果。
缓变形PN结扫描电镜的拍摄应用
【摘 要】
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阐述对于缓变形PN结，在染结后扫描电镜的拍摄中，难以拍摄或拍摄效果不好等问题，通过对日立S4800扫描电镜在拍摄上进行方法及技巧上的运用，提高了染结样品的电镜拍摄图像效果。
【机 构】
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电子技术
【出 处】
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电子技术
【发表日期】
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2022年10期
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