【摘 要】
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设计一种特殊的应用于计算全息法（CGH）高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统。该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近
【机 构】
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苏州大学现代光学技术研究所,苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（60978045）, 苏州市应用基础研究项目（SYG201037）, 江苏高校优势学科建设工程资助课题
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设计一种特殊的应用于计算全息法（CGH）高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统。该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度。分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系。设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构。设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求。
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