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音叉自振系统的振动稳定性对激光共焦测头测量系统的精度有重大的影响。笔者提出一种利用有限元分析方法,建立了音叉自振系统的电-磁-结构场的n次顺序耦合模型,优化选择了永磁铁的材料,分析总结出在永磁铁的磁极、激励线圈和感应线圈的匝数、线径和位置关系不同时,音叉自振系统的电磁场及振动的时域响应特性规律,进行了系统的优化设计。实验表明,安装了优化后的音叉自振系统的激光共焦测头的的长期稳定性为2μm,精度提高了8μm。