【摘 要】
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为使大行程宏微驱动器获得稳定的机械输出性能,以大行程宏微驱动器为研究对象,本文建立了驱动器的有限元模型,采用ANSYS Maxwell软件进行推力仿真,得要不同因素对驱动器的宏
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为使大行程宏微驱动器获得稳定的机械输出性能,以大行程宏微驱动器为研究对象,本文建立了驱动器的有限元模型,采用ANSYS Maxwell软件进行推力仿真,得要不同因素对驱动器的宏动推力的影响。研究结果表明:最优组合方案是dm=8 mm,Lm=72,研究结果为大行程宏微驱动器参数优化及结构设计提供了一种方法。随着科技水平的发展,微型化已成为制造业的主流之一,微纳加工越来越显示其突出的重要性,微纳加工的动力来源主要靠驱动器驱动,驱动器的精度一定程度上影响加工设备的整体性能。
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