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本文设计了惯性约束聚变（ICF）诊断实验用X射线Kirkpatrick—Baez（KB）显微镜，给出了系统的结构参量．使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟，结果表明：在8keV能点，放大率为8倍时，轴上点的最佳空间分辨率小于2μm，200微米视场的空间分辨率优于10μm．采用磁控溅射方法制备了W／B；C非周期多层膜，经X射线衍射仪（XRD，工作能量8keV）测量，其反射率为20％，带宽为0．3°，达到了KB型显微镜成像系统的要求．使用Cu靶X射线管进行了成像实验，得到了放大倍数分别