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区熔法提纯硅多晶工艺综述

来源 :建筑工程技术与设计 | 被引量 : 0次 | 上传用户：laotzu123

【作 者】

：

李 聪 

【机 构】

：

中国电子科技集团第四十六研究所 天津 300220

【出 处】

：

建筑工程技术与设计

【发表日期】

：

2021年25期

【关键词】

：

区熔法 多晶硅 提纯 

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