论文部分内容阅读
简述了包括开路电位法、极化曲线法、恒电位法、电化学阻抗谱在内的常规电化学测试技术的原理。总结了近几年内这几种电化学测试技术在化学机械抛光领域研究中的应用现状,展望了未来的发展方向。
电化学测试技术在集成电路制程化学机械抛光中的应用现状
【摘 要】
：
简述了包括开路电位法、极化曲线法、恒电位法、电化学阻抗谱在内的常规电化学测试技术的原理。总结了近几年内这几种电化学测试技术在化学机械抛光领域研究中的应用现状,展
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室
【出 处】
：
电镀与涂饰
【发表日期】
：
2021年1期
【基金项目】
：
国家自然科学基金(61704046),国家科技重大专项(2016ZX02301003-004-007),河北省自然科学基金(F2018202174,F2018202133)
其他文献
目的:探讨蓝芩口服液辅助治疗儿童流感风热证的效果及对免疫球蛋白水平的影响。方法:选取2019年1月-2020年1月笔者所在医院收治的流感患儿70例,按照随机数字表法将其分为对照
借助互联网技术优势,在线教育快速普及。为了更好地了解线上教育在初中学科教学中的应用情况,通过对初三学生问卷调查,以线上教育在初中学科教学中的应用为例,分析线上教育在
目前平面设计的运用范围非常广泛,从线下宣传单页的设计到线上网站的设计,平面设计作为一种新颖的设计方法被不同行业所关注,各行各业的发展越来越离不开平面设计的帮助。在
创建于1957年的USTER STATISTICS公报(以下简称“乌斯特公报”)是纺织行业质量数据的重要来源,现在已经成为一款应用程序,简称“公报应用程序”。乌斯特公报使纱线生产商及其
为研究含沙水环境中影响水质监测结果的影响因素,提出以氨氮降解速率影响因素作为量化研究参数,分别在含沙水环境下不同温度、酸碱度、氨氮初始浓度和泥沙悬浮状态下的水样进
某催化裂化装置吸收塔中段冷却器出现腐蚀内漏和螺栓断裂等现象,对冷却器进行宏观检查和现场测厚,并通过分析循坏水水质及流速,再结合设备材质状况,开展了冷却器腐蚀原因分析
【目的】探明暗期5 h不同波长LED光照对斜纹夜蛾Spodoptera litura生长发育及繁殖的影响。【方法】处理组斜纹夜蛾各虫态于暗期分别接受5 h不同波长LED灯[红(620-625 nm)、黄
肿瘤组织具有独特的病理生理学特性,其中pH调节异常是肿瘤微环境的特殊标志之一。实体肿瘤的酸性微环境在其发展、侵袭及转移等恶性生物学行为中扮演着关键角色。因此能够定
地面沉降起因多种多样,发生不均匀沉降会给地下和地表建筑带来巨大危害和重大的财产损失,地质雷达方法具有高灵敏性、普适性、无害性、高精度的特点,被普遍应用于地质检测。