【摘 要】
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文章主要论述了PBGA组装的等离子清洗评定，包括抗界面剥离。研讨了通过射频和微波能量施加功率的两种不同的等离子体系。通过测量表面接触角获得最佳的等离子清洗工艺参数。通
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文章主要论述了PBGA组装的等离子清洗评定，包括抗界面剥离。研讨了通过射频和微波能量施加功率的两种不同的等离子体系。通过测量表面接触角获得最佳的等离子清洗工艺参数。通过扫描电子显微镜、抗拉及剪切力试验来鉴定等离子清洗结果，试验样品为27mm×27mm的292个焊球的PBGA。陈述了密封剥离试验、芯片和密封剂拉力试验、焊线拉力试验和C-模式SAM（C-SAM）检查的结果，证明了最佳的等离子清洗工艺会增强PBGA封装的定性等级，并提高工艺效率和生产率。
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