论文部分内容阅读
当在特殊测量情况如涉及压力与环境温度的准确测量时,需要面向动态压力和温度两方面采用压力传感器同时进行测量,这对动态压力传感器提出了更高更全面的要求,目前单晶硅动态压力传感器在芯片设计、封装结构等方面性能较好,本文通过采用压力传感器同时测量动态压力和温度的步骤及操作研究,深入掌握其传感规律,完善测量系统,进行动态范围内的扩展。