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分析了MEMS静电梳齿驱动工作原理，以梳齿结构和弹性梁结构为基础，综合考虑了动态特性、可靠性以及加工工艺可行性要求。提出了非等高结构、变形曲臂梁结构、变形曲臂梁结构、位移放大驱动器、垂直Z向位移静电梳齿驱动器等四种大尺度、低电压驱动线性MEMS静电梳齿驱动器结构设计。利用CAD采用FEA法分别建模、仿真，进行了大位移，低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的动态与静态的研究，并获得20V直流偏置、位移80～130μm、驱动器面积小于2mm×2mm的结果。