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回顾了氧化物薄膜晶体管的优势及其发展应用,介绍氧化物墨水的类型选择、喷墨打印制备过程、薄膜图案退火等工艺过程,以及相关工艺国内外研究情况。总结了喷墨打印技术制备薄膜晶体管工艺的优势。
喷墨打印技术制备氧化物薄膜晶体管
【摘 要】
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回顾了氧化物薄膜晶体管的优势及其发展应用,介绍氧化物墨水的类型选择、喷墨打印制备过程、薄膜图案退火等工艺过程,以及相关工艺国内外研究情况。总结了喷墨打印技术制备薄
【机 构】
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吉林建筑大学电气与计算机学院
【出 处】
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长春工业大学学报
【发表日期】
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2019年3期
【基金项目】
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吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20180589KJ)
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