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利用低温超高真空扫描隧道显微术研究了在NiAl（110）和Cu-Al（111）合金衬底上氧化生长的超薄氧化铝膜的畴界和厚度。在这两种氧化铝薄膜上均观察到两种不同类型的畴界：反相畴界（antiphase domain boundary）和反射畴界（reflection domain boundary）。结果显示Cu-Al（111）表面上的氧化铝薄膜的反相畴界数目相对较少;在NiAl（110）表面形成了双层氧化铝薄膜,而在Cu-Al（111）表面形成的是单层的氧化铝薄膜;厚度差异与衬底表面铝的含量及生长条件有