【摘 要】
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声表面波具有能量集中,易于结合,非直接接触等性能优势。论文详细阐述了金属叉指换能器激励声表面波的工作原理:先运用光刻技术制作出可激发声表面波的金属叉指换能器,再在ME
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声表面波具有能量集中,易于结合,非直接接触等性能优势。论文详细阐述了金属叉指换能器激励声表面波的工作原理:先运用光刻技术制作出可激发声表面波的金属叉指换能器,再在MEMS技术的基础上用浇铸模塑法制作出PDMS流道,设计并制造出在压电材料铌酸锂基底上集成声表面波叉指换能器和微流道的芯片结构,最后进行试验观测以检验工作效果,完成颗粒在微流道中的聚集的工作。结果表明,声表面波可以有效地驱动颗粒在微流道中进行聚集的操作,从而验证了开发微流控系统开发的可行性。
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