【摘 要】
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通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点、性能以及研制情况 ,介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
By int
【机 构】
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西北工业大学工程力学系,西北工业大学工程力学系,西北工业大学工程力学系 陕西西安710072,陕西西安710072,陕西西安710072
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通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点、性能以及研制情况 ,介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
By integrating the structural characteristics, performance and development of integrated micro-acoustic sensors, integrated micro-vibration sensors, integrated micro-sensor groups and wireless integrated micro-sensors, the research progress of the current advanced integrated micro-sensors is introduced.
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