V_2O_5薄膜制备、结构及光学性质研究

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V2O5薄膜是全固态电致变色器件中锂离子储存层的很好候选材料之一。本研究采用反应蒸发,优化实验条件,在加热基片上沉积了性能理想的V2O5薄膜,分别采用XRD,AES,XPS和紫外-近红外分光光度计研究了薄膜的晶态结构、组份、钒离子价态和光学等特性。研究结果表明,刚制备的薄膜为非晶结构,经过一定温度热处理后开始结晶,薄膜的组分为VO2.46,含有少量的V+4;吸收光谱存在两个不同的变化区域,高能区域对应于电子的带间跃迁,吸收边缘在2.11eV,低能区域为V+4产生的吸收尾巴 V2O5 thin film is one of the good candidates for lithium ion storage layers in all-solid-state electrochromic devices. In this study, V2O5 films with ideal properties were deposited on heated substrates by reaction evaporation and optimized experimental conditions. The crystalline structure, composition, vanadium ions Valence and optical properties. The results show that the as-prepared thin film has an amorphous structure and begins to crystallize after being heat-treated at a certain temperature. The thin film has a composition of VO2.46 and a small amount of V +4. There are two different changing regions in the absorption spectrum, and the high-energy region corresponds to the electron Band-to-band transition, absorbing the tail at 2.11eV and absorbing the tail by V + 4 in the low energy region
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