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利用sol-gel方法在SiO2/Si基板上制备了Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15（CSBT）铁电薄膜,其中Si（100）为P型。利用XRD、SEM测试手段研究了CSBT铁电薄膜的结构与形貌,测试了Au/CSBT/SiO2/Si/Au结构的介电特性和C-V曲线。
SiO_2/Si基Ca_（0.4）Sr_（0.6）Bi_4Ti_4O_（15）薄膜的制备及C-V特性研究
【摘 要】
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利用sol-gel方法在SiO2/Si基板上制备了Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15（CSBT）铁电薄膜,其中Si（100）为P型。利用XRD、SEM测试手段研究了CSBT铁电薄膜的结构与形貌,测试了Au/CSBT/SiO2/Si/Au
【机 构】
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山东建筑大学材料科学与工程学院
【出 处】
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青岛科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2011年6期
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