【摘 要】
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光导开关（PCSS）在暗态耐压测试中耐压值低于理论值。根据GaAs材料特性，分析了暗态下光导开关的击穿机理。指出碰撞电离与电流控制负微分迁移率交应是导致开关击穿的直接原因。使
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光导开关（PCSS）在暗态耐压测试中耐压值低于理论值。根据GaAs材料特性，分析了暗态下光导开关的击穿机理。指出碰撞电离与电流控制负微分迁移率交应是导致开关击穿的直接原因。使用Silvaco半导体仿真软件对模型进行了模拟计算，结果表明温度显著影响电场、载流子浓度分布，引起碰撞电离等将就加剧，造成器件耐压值偏低。仿真结果与实验值基本相近，室温下耐压水平为33-40kV/cm。光导开关击穿特性与温度密切相关，改善光导开关散热条件可提高开关耐压水平。
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