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综述了近几十年来对感光聚酰亚胺的研究,着重叙述其制备方法、性能及应用,提出了该材料在微电子工业中的发展趋势及应用前景.
感光聚酰亚胺研究
【摘 要】
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综述了近几十年来对感光聚酰亚胺的研究,着重叙述其制备方法、性能及应用,提出了该材料在微电子工业中的发展趋势及应用前景.
【出 处】
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化学与生物工程
【发表日期】
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2003年z1期
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