真空微电子学中的场致发射阴极制备

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近年来,随着微机械加工技术的不断发展,人们对小功率的场致发射阴极的研究日趋活跃,本文介绍了近年来国内外对场致发射阴极的制备,电学特性及应用方面的研究进展情况,并说明该技术的发展必将取得更广泛的应用. In recent years, with the continuous development of micromachining technology, the research of low power field emission cathodes becomes more and more active. This paper introduces the research progress of field emission cathodes in recent years at home and abroad, the electrical characteristics and applications Situation, and shows that the development of the technology is bound to achieve a wider range of applications.
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