高精密机床气浮主轴和滑台运动误差的干涉测量

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【摘要】

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<正> 一、前言研究精度的主要原因是要借助运转最精确的气浮支承的机床来制造光学零件。在现有光学技术条件范围内,形状准确和散射小的金属反射表面,能用金刚石刀具经过常规

【作者】

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【出处】

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国外计量

【发表日期】

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1984年06期

【关键词】

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<正> 一、前言研究精度的主要原因是要借助运转最精确的气浮支承的机床来制造光学零件。在现有光学技术条件范围内,形状准确和散射小的金属反射表面,能用金刚石刀具经过常规切削加工制造出来,不需抛光。这就需要空气轴

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