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论述一种用透射谱包络线法计算非晶薄膜的折射率、消光系数和光学带隙的方法。通过正交实验确定除压强之外的工艺参数,研究压强的改变对薄膜主要光学常数的影响,运用最小二乘法、内插值法在matlab编程基础上,拟合出光学常数曲线,借由观察曲线的特点,分析在低工作气压下,气压的改变对光学常数的影响。
气体压强对非晶InGaAs薄膜光学常数的影响
【摘 要】
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论述一种用透射谱包络线法计算非晶薄膜的折射率、消光系数和光学带隙的方法。通过正交实验确定除压强之外的工艺参数,研究压强的改变对薄膜主要光学常数的影响,运用最小二乘
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林师范大学信息技术学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2010年1期
【基金项目】
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国防科工委973项目
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