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射频磁控溅射制备TiO2-xNx薄膜及其光催化特性研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chen009123

【摘 要】

：

利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2和TiO2-xNx薄膜样品,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及UV-Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能

【作 者】

：

陈顺利 刁训刚 杨盟 刘海鹰 王天民 

【机 构】

：

北京航空航天大学

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

掺氮TiO2薄膜 光催化 磁控溅射 Crystal structure Doping (additives) Magnetron sputtering Nitr 

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利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2和TiO2-xNx薄膜样品,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及UV-Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能.结果表明制备的薄膜为锐钛矿相结构.随着N2/Ar气流比的增大薄膜样品出现新的物相,吸收光谱向可见光方向展宽,在N2/Ar流量比为3:100时,制备的薄膜在可见光区具有很好的光催化性能.

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