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ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象。文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究。通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产和电势差的原因,很容易出现静电放电现象、烧伤甚至烧断IT0走线。根据试验验证了靶材使用时间、温度和气氛工艺,结果发现,气氛工艺的调整是有效解决ESD问题的方法。通过气氛工艺的调整,LCD的ESD测试性能达到了目标要求,生产的ESD不良比例从18.9%下降到了0.002%以下,通