费索激光波长计的温度补偿

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论文概述了费索干涉仪型激光波长计的原理和标定。详细分析了环境温度变化使仪器参数发生微小变化;论述了SIOM-01激光波长计以一种新颖的将标准激光引入测量光路的方法,随时对仪器参数实行单点标定,克服了由环境温度变化引进的测量误差。 The paper summarizes the principle and calibration of the Fisso interferometer laser wavelength meter. The change of the ambient temperature is analyzed in detail, and the parameters of the instrument change slightly. The new method of introducing the standard laser into the measuring optical path is discussed in the SIOM-01 laser wavelength meter. Single point calibration of the instrument parameters is carried out at any time to overcome the change of the ambient temperature The introduction of the measurement error.
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