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针对目前模具光整加工中难以实现高精度、高效率加工的实际问题,将电解加工、机械研磨及超声加工相复合,提出了一种新型的光整加工技术--电化学超精密研磨技术.此技术对模具型腔高效镜面加工的试验表明:选配适当工艺参数进行光整加工,可以获得表面粗糙度Ra0.025μm镜面,效率较普通研磨提高10倍以上.