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新的配置方式与曲面光栅——莫尔轮廓法灵敏度的再探讨
新的配置方式与曲面光栅——莫尔轮廓法灵敏度的再探讨
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jsrgchf
【摘 要】
:
提出了二种新的配置方式。它可以成倍地增加测量深度,在要求的检测深度一定时,可由此提高测量灵敏度。应用曲面光栅可更多地增加测量深度,文中以柱面光栅为例,推出了计算公式
【作 者】
:
袁玉麟
张天安
【机 构】
:
浙江大学,浙江大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1986年1期
【关键词】
:
轮廓图
测量灵敏度
测量深度
栅距
莫尔等高条纹
条纹图
计算公式
同样条件
摄影镜头
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提出了二种新的配置方式。它可以成倍地增加测量深度,在要求的检测深度一定时,可由此提高测量灵敏度。应用曲面光栅可更多地增加测量深度,文中以柱面光栅为例,推出了计算公式,并用实验加以证实。所有上述方法都有实验照片,并与同样条件下的莫尔等高法作出比较。
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