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VARIAN 21EX医用直线加速器硬件联锁故障（hardware fault,HWFA）是较为常见的故障,故障出现后,机器所有的运动包括Collimator、Couch和Gantry的旋转运动和各种直线运动都被禁止。我们知道,引起HWFA联锁的原因可以归纳为：初级、次级PRO通道不匹配;初级、次级位置读数（PRO）通道电压误差太大;电源电压误差太大;DAC/ADC回路电压不匹配;CPU发出＂Beam On＂命令时没有产生HVON（高压）信号。检查HWFA故障,可通过查看产生的误差代码来判断,在实际维修工