光纤密封转接的氦质谱检漏技术研究

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【摘要】

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为解决光纤进入钢制容器时造成的泄漏问题,密封转接是一种有效方法.分析了光纤转接器灌胶密封结构及其缺陷,证实了转接器内部存在某些特殊的漏孔.研究了光纤密封转接的高灵敏

【出处】

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真空

【发表日期】

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2009年6期

【关键词】

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光纤转接氦质谱检漏漏孔定位

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为解决光纤进入钢制容器时造成的泄漏问题,密封转接是一种有效方法.分析了光纤转接器灌胶密封结构及其缺陷,证实了转接器内部存在某些特殊的漏孔.研究了光纤密封转接的高灵敏度氦质谱检漏工艺技术,利用光纤多层保护结构形成集气空间,实现了光纤转接器内部漏率的定量检测,系统检测灵敏度高达1.0×10-11Pa·m3/s.

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