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采用直流反应磁控溅射技术，在AISI304不锈钢基体上镀制了三种具有不同插入层结构的CrNx涂层．用X射线晶体衍射仪（XRD）表征了涂层的晶体结构，用扫描电子显微镜（SEM）观察了涂层的横断面组织形貌，用原子力显微镜（AFM）观察分析了涂层的表面形貌，并用划痕法测试涂层的结合力，纳米硬度计测试涂层硬度．所有涂层都呈B1 NaCl型面心立方结构，具有明显的（200）择优取向．但是，具有不同插入层结构的涂层的晶体衍射峰的位移角度及方向不同．并且在具有Cr／CrNx多层交替结构作为插入层的涂层的晶体结构中出现了