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本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统,给出了MEMS计算机辅助设计系统的解决方案.通过这套MEMS虚拟设计系统,设计人员可以观察并评测其设计的外观和功能,使得在实际MEMS器件制作工艺之前,就能获得大量的器件运行数据和修正信息,提高MEMS器件设计制作的效率,缩短开发周期.
微电子机械虚拟设计系统研究
【摘 要】
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本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统,给出了MEMS计算机辅助设计系统的解决方案.通过这套MEMS虚拟设计系统,设计人员可以观察并评测其设计的外观和功能,使得在实际
【机 构】
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南开大学机器人与信息自动化研究所
【出 处】
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信息与控制
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，教育部高校骨干教师资助计划，国家重点基础研究发展计划(973计划)，天津市自然科学基金
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