论文部分内容阅读
在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法在工件旋转式磨削硅片研究中的应用,最后提出了工件旋转式磨削大直径硅片技术目前存在的问题和今后的发展趋势。
工件旋转式磨削大直径硅片技术的研究进展
【摘 要】
：
在分析单晶硅片的典型加工工艺基础上,介绍了基于工件旋转式磨削法的大直径硅片超精密加工技术的原理及特点,综述了该项技术的试验研究进展及建立的数学模型,分析了有限元法
【机 构】
：
南京航空航天大学机电学院
【出 处】
：
宇航材料工艺
【发表日期】
：
2006年5期
【基金项目】
：
江苏省自然科学基金前期预研资助项目（BK2005215）
其他文献
目的探讨临床在闭合性腹部外伤患者中实施螺旋CT诊断的可行性。方法将2012年5月至2014年5月来我院就诊的42例闭合性腹部外伤患者纳入研究,给予患者行螺旋CT诊断,同时结合其临
利用X射线衍射仪对不同配比的Si和TiO2样品进行分析,通过三种定量分析方法（峰高法、积分强度法、全谱结构拟合法）进行计算,并进行误差分析。结果表明：三种定量分析方法中,全谱结
针对某型号固体火箭发动机的防热要求，采用芳纶纤维、卤锑阻燃体系研制了新三元乙丙橡胶绝热层，配方中加入不饱和羧酸金属盐和某烷基酚醛树脂，拉伸强度和断裂伸长率分别提高了3M
为了解炭化材料内部的炭化过程，用四种配方的复合材料，采用石英灯组辐射加热的方法，在材料不同厚度位置敷设测温热电偶，根据测量的材料不同厚度位置的背面温度以及已确定的炭化速
榆中县随着农业结构的调整和优化,蔬菜种植面积不断扩大,目前已达到11万亩,占耕地面积的20%,已成为榆中县发展经济的支柱产业.但随着工业化,城镇化进程的加快,中部川源蔬菜原
在工程项目建设过程中，投资控制贯穿于建设项目的初步设计阶段、技术设计阶段、施工图设计Ⅰ阶段、施工阶段和交付使用阶段。但重点在于设计阶段。据一些资料介绍，设计阶段对整