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根据气密封器件内部气氛含量的测试原理,从0.01cc小腔体气密封器件内部气氛含量测试的取样、校准及夹 具等方面分析造成0.01cc（1cc= 1 cm^3）小腔体气密封器件内部气氛含量测试结果误差的主要因素,其中夹具的结构设 计是造成误差的最大影响因素.随后从缩小测试夹具腔体的密封范围、减少穿刺后的内部气氛向外扩散、提高0.01cc 小腔体内部气氛进入设备分析室的浓度等方面对夹具优化设计.最后采取同批次型号的0.01c c小腔体器件进行新旧 夹具分组比对分析,从测试数据的离散性、设备的端口气氛浓度数据分析