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该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型的工频电场测量系统。针对芯片调制被测电场后其输出信号的特征，采用正交相关检测原理提出一种可抑制背景干扰噪声的工频电场解调算法，设计出小型化、空间分辨力高的工频电场测量探头，并在基础上提出MEMS工频电场测量系统的系统级设计方案，成功实现了MEMS电场敏感芯片输出信号的无线采集、滤波、以及电场信号的高精度解调。高压输电线路下工频电场测量结果表明，MEMS工频电场测量系统与传统电场测量仪的测量结果具有良好的一致性。