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对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,由位置传感器获取微球的位移信息。实验结果表明,当光阱在轴向不同位置时,传感器探测灵敏度有差别。实测中应采用微球和光阱处于相同轴向位置的标定结果。
用于光阱刚度测量的位置传感器标定实验研究
【摘 要】
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对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,由位置传感器获取微球的位移信息。实验结果表明,当光阱在轴向不同位置时,传感器探测灵敏度有差别。实测中应采用微球和光阱处于相同轴向位置的标定结果。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2012年12期
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