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利用偏光显微镜、扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）对聚酰亚胺（PI）表面正常区域和静电损伤区域进行系统观测。偏光显微镜的观测基于超扭曲向列相液晶显示（STN—LCD）的关态透射原理，并确定损伤区域的线度在50～100μm。用SEM区分静电损伤引起的“白点”与尘粒引起的“白点”，同时观测到电极被局域破坏，其线度沿电极边缘约20μm。通过AFM的直接观测发现，与正常区域比较损伤区域失去了沟槽结构，但仍然保持深度在10nm以内的二维无序凹凸结构，其原因为：损伤后PI对液晶分子取向作用失效的机制是沟槽结构