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用四极质谱计定性分析残气成分的变化
用四极质谱计定性分析残气成分的变化
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JERONG971
【摘 要】
:
四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.
【作 者】
:
张兆祥
张耿民
赵兴钰
张浩
薛增泉
【机 构】
:
北京大学
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
四极质谱计
残气成分
质谱
Quadrupole mass spectrometer Components of residual gas Mass spect
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四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.
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