【摘 要】
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采用常压烧结法制备W掺杂Li3PO4陶瓷靶材,通过改变WC磨球与Li3PO4粉末原料质量比大小,确定W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构,SEM观察靶材的断面
【机 构】
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深圳大学材料学院,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳陶瓷制备先进技术工程实验室
【基金项目】
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深圳市科技研发资金基础研究计划资助项目（JCYJ20140418181958489）
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采用常压烧结法制备W掺杂Li3PO4陶瓷靶材,通过改变WC磨球与Li3PO4粉末原料质量比大小,确定W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的最佳制备工艺。通过XRD测定靶材物相结构,SEM观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度等,对W掺杂Li3PO4靶材的性能进行了分析表征。研究表明,WC与Li3PO4球料比为2∶1的条件下获得的W掺杂Li3PO4陶瓷靶材的综合性能最佳,靶材的相对密度达到92.24%,抗弯强度达到38.34 MPa,维氏硬度达2
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