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用空间拟合函数实现线间距离的检测
用空间拟合函数实现线间距离的检测
来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:adunisrunning
【摘 要】
:
介绍用线阵CCD 作刻线边缘的传感器,以光栅作为计量基准,用空间拟合函数作为计算方法,检测刻线线宽
【作 者】
:
谢小平
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
计量与测试技术
【发表日期】
:
2000年01期
【关键词】
:
刻线线宽
距离检测
长度计量
空间拟合函数
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介绍用线阵CCD 作刻线边缘的传感器,以光栅作为计量基准,用空间拟合函数作为计算方法,检测刻线线宽
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