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在纯氧,及氧气和氩气的混合气体情况下,对射频放电产生O2(a1Δg)进行了实验研究.射频频率为13.56MHz,额定功率500W,放电压力133.0~399.0Pa,氧气流量最大为1.4mmol/s,氩气流量为2.1mmol/s.研究了O2(a1Δg)产率随气体流量、放电气压以及混合气体放电条件的变化.O2(a1Δg)产率最大值约为17.5%.